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真空小常识

发布日期：2013-09-27

真空是什么?

    真空是指给定空间内的气体压强小于该地区一个标准大气压的气体状态。真空是稀薄的气体，与大气相比它有一系列优点，例如气体稀薄、氧气少、环境清洁、没有水气、气体分子密度小、各种气体运动无阻碍等等。

    利用真空环境，可以实现真空镀膜、真空输送、真空脱气、真空熔炼、抽除有害气体、空间模拟以及化工、食品、医药、电机制造等工业的蒸馏、蒸发、干燥等等工业生产过程。由于上述的特点，在真空环境中进行某些工艺过程有着一些不可比拟的优点。

    在真空状态下，气体的稀薄程度通常用压强值来表示，但在实际真空应用中，通常习惯用“压力”来代替“压强”作为气体稀薄程度的表示。现代真空技术能获得的气体压强为大气压至10-11Pa的真空。这是一个非常大的真空范围，而且各个真空应用部门所涉及的工作压强的范围不尽相同，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用，现今只能根据不同的工作压强范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵来创造需要的真空环境。为了使用方便以及经济性的要求，有时将各种真空泵按其性能要求结合起来，以真空机组形式出现。

    真空泵是用以产生、改善和维持真空的装置。按工作原理，真空泵基本上分为气体传输泵及气体捕集泵两种类：

    常用的气体传输泵有：往复真空泵、无油涡旋真空泵、旋片真空泵、定片真空泵、滑阀真空泵、液（水）环真空泵、罗茨真空泵、分子泵、喷射泵、扩散泵、油增压泵、爪式真空泵等。

    常用的气体捕集泵有：吸附泵、离子泵、低温泵、吸气剂泵等。

真空区域分划

真空区域压强范围

托(Torr) 帕(Pa)

低真空 760~10 101325~1333

中真空 10~10-3 1333~1.33~10-1

高真空 10-3~10-8 1.33×10-1~10-6

超高真空 10-8~10-12 10-6~10-10

极高真空＜10-12 ＜10-10

抽气速率单位换算表

单位立方米/秒(m3/s) 升/秒(L/s) 立方米/小时立方英尺/分

1立方米/秒(1m3/s) 1 1000 3600 2118.88

1升/秒(1L/s) 10-3 1 3.6 2.119

1立方米/小时(1m3/h) 2.78×10-4 0.278 1 0.59

1立方英尺/分(1cft/min) 4.72×10-4 0.47 1.69 1

温度、摄氏、华氏温度对照表

温度形式 K(温度) ℃(摄氏) °F(华氏)

K(温度) 1 ℃+273.15 5/9(°F+459.67)

℃(摄氏) K-273.15 1 5/9(°F-32)

°F(华氏) 9/5(K-459.67) 9/5(℃+32) 1

常用压强单位换算表

? 帕 Pa 托 Torr 微米汞柱 μmHg 微巴 μbar 毫巴 mbar 大气压 atm 工程大气压 am 英寸汞柱 inHg 磅/英寸2 lb/in2

1 Pa 1 7.5×10-3 7.5 10 10-2 9.86923×10-6 1.0197×105 2.953×10-4 1.450×10-4

1 Torr 133.32 1 103 1333.2 1.3332 1.31579×10-3 1.3595×10-3 3.937×10-2 1.934×10-2

1 μmH 0.13332 10-3 1 1.3332 1.3332×10-3 1.31579×10-6 1.3595×10-6 3.937×10-5 1.934×10-5

1 μbar 10-1 7.5×10-4 7.5×10-4 1 10-3 9.86923×10-7 1.0197×10-6 2.953×10-5 1.450×10-5

1 mbar 102 7.5×10-1 7.5×102 103 1 9.86923×10-4 1.0197×10-3 2.953×10-2 1.450×10-2

1 atm 101325 760 760×103 1013.25×103 1013.25 1 1.0333 29.921 14.696

1 am 98066.3 735.56 735.56×103 980663 980663×10-3 0.967839 1 28.959 14.223

1 inHg 3386 25.4 25.4×103 3.386×104 33.86 3.342×10-2 3.453×10-2 1 4.912×10-1

1 lb/in2 6895 51.715 51.715×103 6.895×104 68.95 6.805×10-2 7.031×10-2 2.086 1

真空泵的种类及其工作范围

真空泵工作范围(托) ? 真空泵工作范围(托)

旋片真空泵 760～5×10-4 往复真空泵 760～10-2

滑阀真空泵 760～5×10-2 吸附泵 760～10-4

油增压泵 10-1～10-4 溅射离子泵 10-4～10-10

罗茨真空泵 10-1～10-4 钛升华泵 10-3～10-10

油扩散泵 10-3～5×10-7 分子泵 10-3～10-10

水环真空泵 760～25 爪型干式泵 760～6×10-4

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